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장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술원
장비명
회전건조기 (Spin Rinser Dryer)
모델명
SRD 480S
제작사(국가)
대한민국
제작년도
2012
용도
생산
분류
시험장비
취득일
2012.05.25
장비설명
반도체용 Wafer나 조명소자용 ITO 기판을 Wet station 설비에서 Chemical 처리 후 내부 Chuck을 이용하여 회전시키는 동안 DI Water로 Rinse하며 Heating된 질소로 분사하여 건조시키는 설비이다.
장비구성

성능
1. 구성: 본체 Frame, N2 Blower, Di Water Shower, Gas Heating Line, 변압기 (220V→120V)2. DI Water Resistivity Meter 설치를 통한 비저항치 확인 가능3. N2 Blow Sensor를 통한 Interlock 기능4. Hot N2 Temp. : Over Hi 100 ℃ 5. Jig 규격: 200 mm * 200 mm Glass 전용, 25 EA loading capacity 6. Max RPM : 2700 RPM 7. Power : 120 V 15 A / 1Φ, 60 Hz
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
(재)철원플라즈마기업지원연구동
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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